第一二零三章 nm光刻机研制成功 (第2/2页)
8英寸晶圆，也是一项伟大的创举。
陈伟长院士带领光刻机光学研究所，最后研发成功满足500nm光刻机所需要的光学系统。
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8英寸晶圆，也是一项伟大的创举。
陈伟长院士带领光刻机光学研究所，最后研发成功满足500nm光刻机所需要的光学系统。
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